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长江存储光罩防护专利为芯片光刻保驾护航;小米汽车“动力电池”专利获授权

发布时间:2023-04-06 人气:1,146

长江存储光罩防护专利为芯片光刻保驾护航;小米汽车“动力电池”专利获授权

1.【专利解密】长江存储光罩防护专利为芯片光刻保驾护航

2.小米汽车“动力电池”专利获授权

3.受马斯克脑机接口公司影响,美国农业部遭调查

4.因抱怨马斯克推文和公司政策 两名特斯拉员工遭解雇

5.Meta遭欧盟反垄断调查,或面临118亿美元巨额罚款

1.【专利解密】长江存储光罩防护专利为芯片光刻保驾护航

【爱集微点评】长江存储的光罩防护专利,通过覆膜的方式,避免颗粒掉落至光罩功能膜上,同时保证光罩功能膜能够有效保护掩膜图形,进而提高工艺质量。

集微网消息,随着无晶圆厂芯片设计初创企业的增长,使得光罩护膜供不应求,价格上涨,于此同时国内也有很多企业在不断推进光罩护膜,其中就包括长江存储。

光罩是芯片制造过程中光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过曝光将图形转印到产品基板上。光罩的质量直接影响芯片的质量,通常在光罩上形成光罩功能膜以保护光罩的洁净,防止颗粒掉入掩膜图形上。但是,光罩封装出货的运输过程中或者在接收到光罩后对光罩进行检查时,光罩盒中的颗粒可能掉落在光罩功能膜上。另外,如果光罩功能膜上的颗粒较大,则无法通过集成光罩探测系统的检测,或者可能在晶圆端成像,影响晶圆质量。因而,目前亟需一种防护结构,避免颗粒掉落至光罩功能膜上。

为此,长江存储于2021年2月14日申请了一项名为“一种光罩防护结构、光罩基板的包装方法、光刻方法”的发明专利(申请号:202110032583.6),申请人为长江存储科技有限责任公司。

图1 光刻结构的结构示意图

图1是本发明光刻结构的结构示意图,光罩基板101上形成有掩膜图形102,并在其外围形成光罩护膜框103,光罩护膜框103包围掩膜图形102,从而能够对掩膜图形102起保护作用。同时在光罩护膜框103之上又设有光罩功能膜104,光罩功能膜104避免颗粒掉落至掩膜图形102上。

当进行光刻工艺时,光从光罩基板101上未形成掩膜图形102的一侧入射至光罩基板101中,光罩基板101上形成有掩膜图形102的位置对光有遮挡作用,光罩基板101上未形成有掩膜图形102的位置对光有透光作用,当光罩功能膜104上形成有颗粒105时,经过光学系统106的作用,颗粒105在晶圆108上的光阻层109上成像。

图2 光罩防护结构的剖面结构示意图

图2为光罩防护结构的剖面结构示意图,在本发明中,光罩护膜框202包含第一表面和第二表面,第一保护膜204于第一表面固定于光罩护膜框202上,第二保护膜205于第二表面固定于光罩护膜框202。在具体的应用中,第二保护膜205可以为静电保护膜,通过静电吸附作用在光罩护膜框202上吸附用于保护第一保护膜204的第二保护膜205,简化工艺,并且在后续光刻工艺中易于将第二保护膜205去除。

图3 光罩护膜框的侧面结构示意图

图3为光罩护膜框的侧面结构示意图,除了前面提到的第一、二表面之外,光罩护膜框202还包括外壁面和内壁面,并在光罩护膜框202上设有通孔210,通孔210贯穿外壁面和第一内壁面。光罩护膜框202上的通孔210能够降低第一保护膜204和第二保护膜205之间的气压,使得第一保护膜204和第二保护膜205之间的气压与外部气压平衡,避免在去除第二保护膜205的过程中对第一保护膜204造成破坏。

简而言之,长江存储的光罩防护专利,通过覆膜的方式,避免颗粒掉落至光罩功能膜上,同时保证光罩功能膜能够有效保护掩膜图形,进而提高工艺质量。

长江存储在半导体集成电路领域深耕多年,不断发展创新,已经超过8000余项的专利申请,每年都会有1000项的专利申请新增。相信在未来,长江存储一定可以在多个领域创造辉煌,为半导体行业注入更多的科技力量。

关于爱集微知识产权

“爱集微知识产权”由曾在华为、富士康、中芯国际等世界500强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人、商标代理人以及资深专利审查员组成,熟悉中欧美知识产权法律理论和实务。依托爱集微在ICT领域的长期积累,围绕半导体及其智能应用领域,在高价值专利培育、投融资知识产权尽职调查、上市知识产权辅导、竞争对手情报策略、专利风险预警和防控、专利价值评估和资产盘点、贯标和专利大赛辅导等业务上具有突出实力。在全球知识产权申请、挖掘布局、专利分析、诉讼、许可谈判、交易、运营、一站式托管服务、专利标准化、专利池建设等方面拥有丰富的经验。我们的愿景是成为“ICT领域卓越的知识产权战略合作伙伴”。

(校对/赵月)

2.小米汽车“动力电池”专利获授权

集微网消息(文/白雨轩)天眼查显示,12月20日,小米汽车科技有限公司“动力电池”专利获授权。

摘要显示,该动力电池包括:多排电芯、多个液冷板、进液组件以及出液组件,每排电芯的两侧均贴附有液冷板,液冷板具有进液口、出液口和连通进液口和出液口的内部通道;进液组件与每个进液口连通,用于向液冷板内输送冷却液;出液组件与每个出液口连通,用于接收由液冷板排出的冷却液。该实用新型实施例的动力电池通过在每一排电芯的两侧均设置液冷板,从而每一排电芯都能通过两个液冷板冷却,冷却面积大,极大提高了冷却效率,提高了电池的使用寿命、安全性能及快充性能。

资料显示,小米于2021年宣布进军电动汽车行业。雷军曾公开表示,小米的机会在于自动驾驶,目标是2024年进入汽车自动驾驶行业第一阵营。

至2021年11月27日,北京经济技术开发区管委会与小米科技签订《合作协议》,正式宣告小米汽车落户北京经开区。另外,小米已披露信息显示,小米汽车项目将建设小米汽车总部基地和销售总部、研发总部,计划分两期建设年产量30万辆的整车工厂,一期和二期产能分别为15万辆,预计2024年首车将下线并实现量产。(校对/黄仁贵)

3.受马斯克脑机接口公司影响,美国农业部遭调查

据报道,埃隆·马斯克创建的脑机接口公司Neuralink又遇到了麻烦。之前美国一些研究机构违法违规,美国农业部没有采取行动,Neuralink也属于农业部监管范围。

早先总检察长办公室OIG(Office of the Inspector General)曾对Neuralink的动物实验计划展开调查,现在它开始审查美国农业部。

Neuralink开发脑植入技术,它可能违反了动物权益,月初曾有报道称OIG正在调查Neuralink。当时美国联邦检察官办公室加州北区分局的联邦检察员要求调查Neuralink。

OIG是美国农业部所属机构,在过去3年里农业部曾8次检查Neuralink设施。考虑到Neuralink有可能损害动物权益,联邦调查官认为评估农业部对Neuralink的检查是合理的。

多年来美国农业部一直遭受OIG的批评,现在联邦调查官要求审查美国农业部自然而然得到了OIG的支持。

为什么农业部OIG可以监督农业部呢?这要归结到美国特殊的监察长制度,1950年代后期,美国国务院、农业部相继设立了监察长办公室,以应对浪费、欺诈和权力滥用等问题,OIG拥有对农业部的监督权。

马斯克已经卷入无限旋涡,他所管理的公司成为美国政府多个部门的调查目标。(新浪科技)

4.因抱怨马斯克推文和公司政策 两名特斯拉员工遭解雇

据报道,美国国家劳动关系委员会的记录显示,两名特斯拉员工12月初向该委员会投诉称,他们因抱怨公司的政策而遭到非法解雇。

根据提交的文件,这两名员工表示,他们在讨论公司的劳动条件后遭到解雇。他们谈论的话题包括“特斯拉未能执行防止骚扰的政策,以及在新冠病毒疫情后重返办公室的政策执行情况”。根据美国劳动法,讨论劳动条件的行为应当受到保护。

特斯拉尚未对此做出回应。

根据他们律师提供的新闻稿,这两名员工参与起草了给特斯拉高管团队的邮件。他们在内部聊天群讨论相关情况后遭到解雇,当时这封邮件尚未开始传阅。

其中一封信呼吁特斯拉调整5月份宣布的严格的重返办公室政策,该政策要求特斯拉所有员工每周在办公室工作至少40个小时。当时,马斯克在推特上发帖称,任何没有参与该计划的人都只是“假装在其他地方工作”。

律师们还表示,马斯克在推特上发布的“性别化”内容违反了特斯拉的防止骚扰政策。

文件显示,其中一名员工在获得绩效加薪的一个月后被解雇。另一人被告知,组织员工讨论这方面问题相当于对特斯拉的“攻击”。

特斯拉以往也曾面临劳动关系问题。2021年,美国国家劳动关系委员会认定,特斯拉解雇了一名工会活动人士,违反了法律。该委员会还要求马斯克删除一条推特贴文,称这条内容是在威胁劳工组织者。今年8月,该委员会还认定,特斯拉禁止工人在工作时穿着工会T恤,此举侵犯了工人的合法权益。

去年11月,SpaceX的一群员工也提出了类似投诉,称他们在写公开信谴责马斯克的行为后被解雇。这两批员工都选择了来自Lieff Cabraser Heimann & Bernstein LLP律师事务所的同一批律师来代理投诉。(新浪财经)

5.Meta遭欧盟反垄断调查,或面临118亿美元巨额罚款

欧盟反垄断监管机构发出了一份指控书,警告Facebook母公司Meta(META,股价114.48美元,市值3035.49亿美元)违反了欧盟的反垄断法,因为其分类广告服务对竞争对手不公平,Meta可能会被处以全球年营业额10%的罚款。

欧盟委员会表示,通过自动让用户访问其商品交易平台Facebook Marketplace,Facebook拥有“竞争对手无法比拟的巨大分销优势”。欧盟委员会另外指出,初步认定Meta滥用了其支配地位,后者还对“在Facebook或Instagram上做广告的竞争性在线分类广告服务施加了不公平的交易条件”。

欧盟反垄断专员Margrethe Vestager表示,Meta在全球拥有数十亿的月度用户和数百万活跃广告客户。委员会注意到,Meta将其旗下的Facebook与其名为Marketplace的在线分类广告服务捆绑在一起,这意味着脸书用户别无选择,只能访问Marketplace。

   

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